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還原爐及其模塊

    還原爐還原爐是多晶硅生產的核心設備之一。經過提純的三氯氫硅SiHCl3和高純氫混合后,通入1150℃還原爐內,通過氣相沉積法,生成的高純多晶硅沉積在多晶硅載體上,即可得到最終產品多晶硅棒。它的性能將影響到多晶硅企業其產品產量、質量、成本、能耗等關鍵指標。目前雙良生產的還原爐有72對棒、48對棒、40對棒、36對棒、24對棒、18對棒等。

       還原模塊:還原系統采用模塊設計和制造,集成度高,裝置緊湊,易于實現全自動控制,大大減少現場施工時間,保證施工質量,加快項目整體進度。通過與客戶溝通交流確定管道儀表流程圖(PID),可實現:
       1. 優化流程、控制方案:根據還原爐生長特性和客服要求,制定最佳流程和控制方案,采用精準、便捷、直接的控制方式,提高產能、生長質量和降低能耗
       2. 能源綜合利用:爐筒水熱量的綜合利用、尾氣熱量的綜合利用
       3. 簡化儀表閥門設置:便于操作,節省投資  

             

 

 

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